Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis (LibQual): pengaruh kinerja petugas (affect of service) terhadap kepuasan pemustaka; pengaruh akses informasi (information access) terhadap kepuasan pemustaka; pengaruh petunjuk dan sarana akses (personal control) terhadap kepuasan pemustaka; pengaruh sarana dan prasarana (library as place) terhadap kepuasan pemustaka; pengaruh kepuasan pemustaka terhadap loyalitas pemustaka; pengaruh Kinerja petugas terhadap loyalitas pemustaka; pengaruh Akses informasi terhadap loyalitas pemustaka; pengaruh Petunjuk dan sarana akses terhadap loyalitas pemustaka; pengaruh Sarana dan prasarana terhadap loyalitas pemustaka; pengaruh Kinerja petugas terhadap loyalitas pemustaka melalui variabel kepuasan pemustaka; pengaruh akses informasi terhadap loyalitas pemustaka melalui variabel kepuasan pemustaka; pengaruh petunjuk dan sarana akses terhadap loyalitas pemustaka melalui variabel kepuasan pemustaka; pengaruh Sarana dan prasarana terhadap loyalitas pemustaka untuk menggunakan Perpustakaan Universitas YARSI melalui variabel kepuasan pemustaka. Metode analisis data menggunakan Structural Equation Model (SEM) dengan software Lisrel 8.8. Responden dalam penelitian ini adalah mahasiswa Universitas YARSI yang berjumlah 181 orang. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa komponen LibQual memiliki pengaruh yang positif dan signifikan terhadap kepuasan pemustaka dan loyalitas pemustaka secara langsung. Kepuasan pemustaka memiliki pengaruh yang positif dan signifikan terhadap loyalitas pemustaka secara langsung. Komponen LibQual memiliki pengaruh tidak langsung yang positif dan signifikan terhadap loyalitas melalui kepuasan pemustaka.